王麟書（），王麟書號麓園，王麟書散館授編修。王麟書官至禮科給事中。王麟書
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邻里互助 “老工匠”应运而生
“我们社区是典型的老城区，60岁以上老人有1000多人，养老服务需求突出。”新光社区党委书记姚晓芳的话，道出了“老工匠”志愿服务队成立的初衷。彼时，社区里有不少刚退休的居民，身体硬朗，且怀有“发挥余热、服务邻里”的热情。社区顺势而为，搭建起邻里互助平台，2019年，“老工匠”志愿服务队应运而生。
志愿队始终以“退休不褪色，余热暖社区”为宗旨，从最初的四五人小团体，逐步发展为如今拥有38名骨干、总人数超80人的队伍。副队长张志明是核心发起人之一，他坦言：“退休前我是社区物业专干，熟悉情况；作为党员，更想为邻里做点实事。”正是他与队长陈启楼的带头，凝聚起越来越多的志同道合者。
凭借“人熟、地熟、情况熟”的天然优势，“老工匠”们成为社区治理的“润滑剂”和“好帮手”：政策宣传时，他们用“家常话”把惠民政策讲透；邻里有矛盾时，他们以“老邻居”的同理心摆事实、讲道理；老旧小区改造中，他们搭建起社区与居民的沟通桥梁。“很多棘手的问题，经他们耐心劝导，都能顺利解决。”姚晓芳表示，他们让社区治理既有“力度”，更添“温度”。
角色转变 志愿服务“双向奔赴”
如果说助力社区善治是“老工匠”的“硬贡献”，那么涵养文明新风便是他们的“软力量”。这支队伍以邻里互助为纽带，在潜移默化中传递善意、凝聚人心，让良好风尚在社区里落地生根。
“志愿者们经常来陪我聊天，帮我做事，我心里热乎乎的，儿子在外面也放心。”受助老人黄大枝的感受朴实而真切。尤为可贵的是，这份温暖并非单向流动。受到志愿者的感染，黄大枝也主动为楼上工作繁忙的年轻夫妻临时照看孩子。从“被关怀者”到“关怀者”的角色转变，正是友爱互助、文明和谐新风尚扎根生长的生动体现。
对“老工匠”们而言，志愿服务同样也是一场“双向奔赴”。“在有限的时间里能为居民做点实事，心里特别自豪。”张志明说，通过“老有所为”，不仅让退休后的生活更充实，也在服务社会中重新找到了人生坐标。
前不久，志愿服务队获评全省离退休干部正能量活动团队。近期，社区联动服务队成立了“银发伴友团”项目，通过“情感联结+制度保障”双轮驱动，推动互助服务从“零散化”走向“常态化”。
从几名老党员的无私奉献，到如今80多人的志愿团队。“老工匠”们用一份份陪伴、一次次调解，温暖了人心，融洽了邻里，提升了社区治理的效能，以实际行动诠释了志愿精神，为构建守望相助的和谐社区贡献了“银发”力量。（记者 闫丽婷）
" width=140 height=90/>本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" width=140 height=90/>近年来，省经信厅积极引导工业企业（园区）建立健全电力需求侧管理制度，改善电能质量，加强用电设备改造和信息化建设，促进电能替代、分布式能源利用、能源清洁和循环利用，全面提升我省工业领域用能效率和需求响应能力，有效降低企业用能成本、提高工业经济运行质量。 2016年至2020年，全省累计实现节约电量24亿千瓦时，节约电力60.2万千瓦。
此次入选的3家企业和园区在工业领域电力需求侧管理方面各有特点。安徽安利材料科技股份有限公司用电管理改变了以往节点主要靠单一产品和局部技术改造的做法，通过电能管理整体解决方案，有效提高了企业的综合经济效益。滁州惠科光电科技有限公司通过电力需求侧管理，增加电能有效利用率，降低了企业用能成本。亳州芜湖现代产业园区管委会通过建立智慧园区平台，不断提高园区资源优化配置能力、资源综合利用效率，协调水、气、电的多能互补，节约社会资源，促进低碳环保。（记者 汪国梁）
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